電感耦合等離子體發射光譜儀由計算機控制，燈電源順序地向各檢測單元的空心陰燈供電(2,000次/秒),所產生的熒光由相應的光電倍增管檢測，光電轉換后的電信號在放大后由計算機處理，并報出各元素的分析結果.不過，值得提出的是，以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難溶元素的測定靈敏度不高.

ICP光譜儀儀器特點：進樣系統具有、穩定的進樣系統。通過不斷地形成大小一致的液滴，eNeb選件可令Optima提供的穩定性和無可比擬的檢出限，非常適用于環境和制劑實驗室。有的RF發生器采用免維護的等離子體感應板，替代傳統的螺旋負載線圈。無需冷卻，氬耗降低，操作成本大大降低。

電感耦合等離子體發射光譜儀采用人性化方法庫設計，Windows 風格的方法庫管理界面，符合使用習慣；詳盡的方法信息和樣品處理信息，便于隨時調用

電感耦合等離子體發射光譜儀具有自主封裝技術的高速 CCD 數采系統，可以對紡織品、玩具、催化劑、石油等各種樣品進行無機元素分析。

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